Ellipsometer를 이용한 산화막 두께 측정

1. 매뉴얼  Manual 1 (eng.) PDF

2. 매뉴얼 Manual 2 (eng.) PDF

3. 튜토리얼 Tutorial (eng.) Web page 

4. 참고자료 Reference

주교재

Textbook [ Materials science of thin films(Deopsition & structure), 2/e, Milton Ohring]

Chapter 10.2.4 ELLIPSOMETRY

*주교재 자료는 도서관에서 대여하거나 담당 조교에게 요청할 것
* For your information, you could get this textbook above from the library or ask your TA for it.