진공 시스템 작동의 기초

1. 시스템 예비 단계의 3요소 (Prerequisite for operating vacuum system)

• 전기 (Power)

주로 고전압을 이용하므로 항상 주의해야 한다.

• 공압 (Air pressure)

모든 밸브는 일정 압력의 들어가야 작동하도록 되어있다. 일반적으로는 압축기(air-compressor)를 사용하고 보다 깨끗한 시스템을 위해 고순도 질소(pure nitrogen)을 사용하기도 한다.

• 냉각수 (cooling water)

고진공을 위한 2차 펌프는 일반적으로  오일확산펌프( Oil diffusion Pump)나 터보펌프(Turbo molecular pump)가 이용된다. 확산펌프의 경우 고온의 오일을 냉각시키고 터보펌프의 경우 고속 회전에서 발생할 수 있는 열을 냉각시키기 위해 반드시 냉각수가 공급되어야 한다.

2. 시스템 작동 순서 (Procedure)

System Panel

 

M/V = Main Valve On

R/V= Roughing Valve On

F/V = Foreline Valve On

V/V = Vent Valve On

1. 전체 시스템 key를 돌려 전원을 공급한다. 
2. 로터리 펌프를 작동시킨다.(R/PUMP ON)
3. 로터리 펌프 오일의 예열을 위해 약 5~10분간 기다린다.
4. 포라인 밸브를 열어 오일확산펌프 간의 라인의 진공을 약 1~2분간 잡아준다.(F/V On)
5. 포라인 밸브를 닫는다. (Valve OFF)
6. 챔버의 커버를 닫고 러핑 밸프를 열어주고, 진공을 뽑는다. (R/V On, Pirani Gauge ON)
7. 오일확산 펌프를 작동시켜 약 30분간 오일을 예열한다. (D/PUMP ON)
8. 러핑 밸프를 닫고, 포라인 밸브를 연다. (Valve OFF, F/V ON)
9. 메인 밸프를 열어 진공을 뽑는다.(M/V On, Pirani Gauge OFF, Penning Gauge ON)

* 7단계에서 오일 확산 펌프 예열 동안 중간에 한 번씩 포라인 밸브를 열어줘 진공을 잡아준다.